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| 内容 |
特集：環境・プロセスモニタリングで活躍する計測技術〈水編〉 |
| 巻 |
29巻1号2024年
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| Page |
23
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| 題名 |
超純水の水質管理方法
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| Title |
Quality Monitoring Methodfor Ultrapure Water |
| 著者 |
藤郷貴章 |
| Authors |
Takaaki TOGO |
| 著者表記 |
栗田工業(株) イノベーション本部 イノベーション技術開発部門 ソリューション開拓部 |
| 著者表記(英) |
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| 著者勤務先名 |
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| Office name |
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| 著者所属名 |
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| キーワード |
超純水，微量分析，オンライン分析法，オフライン分析法 |
| Key Words |
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| 概要 |
超純水は医薬品製造分野や電子産業分野等様々な分野で使用されているが，特に最先端の電子半導体製造で用いられる超純水は水質の基準が厳しく，不純物の極めて少ない超純水が求められている。本報では，超純水の製造や水質保証に対する分析技術の役割と，主な水質管理項目及び水質管理方法について紹介する。 |
| Abstract |
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